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高精度程控勻膠機(jī)型號(hào)：SYSC-100A
一. 產(chǎn)品應(yīng)用
SYSC-100A高精度程控勻膠機(jī)（Spin Coater），又稱為旋轉(zhuǎn)涂膜儀，是一代旋轉(zhuǎn)涂膜設(shè)備。具有速度精度高、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、旋轉(zhuǎn)加速度可控、勻膠過(guò)程多段程序控制等特點(diǎn)。主要用于微電子、半導(dǎo)體、太陽(yáng)能電池、新能源、生物材料、光學(xué)器件等領(lǐng)域的表面涂膜工藝，例如各類納米薄膜材料、光阻涂層、生物功能涂層的制備。
二. 產(chǎn)品特點(diǎn)
1. 旋轉(zhuǎn)電機(jī)采用專為勻膠機(jī)設(shè)計(jì)的精密高速伺服電機(jī)。
2. 優(yōu)異的旋轉(zhuǎn)加速性能，Z大旋轉(zhuǎn)加速度可達(dá)40000rpm/s（有負(fù)載的真實(shí)加速度）。
3. 兩項(xiàng)安全互鎖功能：
(1) 勻膠腔體具有開(kāi)啟、關(guān)閉的檢測(cè)功能，確保腔體關(guān)閉后才可啟動(dòng)，防止勻膠過(guò)程中飛片造**身傷害；
(2) 真空吸片具有真空檢測(cè)功能，若發(fā)生真空泄漏，基片無(wú)法吸附牢固，則立即停止運(yùn)行。
4. 機(jī)身外殼采用SUS304不銹鋼制作，防腐蝕、不生銹、易清潔。
5. 勻膠腔體采用德國(guó)勞士領(lǐng)NPP材料，經(jīng)CNC一體加工成型。接儲(chǔ)脫離基片的膠液，避免進(jìn)入真空管路和設(shè)備內(nèi)部。耐腐蝕、易清潔。
6. 旋轉(zhuǎn)吸片臺(tái)采用德國(guó)勞士領(lǐng)PEEK材料，經(jīng)CNC一體加工成型。耐高溫、耐腐蝕、不變形。
7. 勻膠過(guò)程全自動(dòng)分段程序控制。整個(gè)勻膠過(guò)程Z多可分十段進(jìn)行，每段的加速時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度、勻膠時(shí)間均可精密控制、連續(xù)可調(diào)?？蓛?chǔ)存50組工藝程序，隨時(shí)調(diào)用。
8. 7英寸液晶觸摸屏使控制更方便；運(yùn)行狀態(tài)及各項(xiàng)參數(shù)實(shí)時(shí)顯示，更直觀了解勻膠進(jìn)程；
9. 真空泵的開(kāi)啟與關(guān)閉均為自動(dòng)程序控制，無(wú)需手動(dòng)操作。
10. 旋轉(zhuǎn)前增加預(yù)吸片步驟，“預(yù)吸片時(shí)間”Z多為99s，確?；喂涛接谛D(zhuǎn)臺(tái)后再進(jìn)行旋轉(zhuǎn)涂膜。勻膠完成后增加解吸片步驟，“解吸片時(shí)間”Z多為99s，確保安全停止后再切斷真空，釋放基片，防止涂膜后的基片滑落，對(duì)膜層造成損傷。
11. 標(biāo)配無(wú)油真空泵，低噪音。大吸力將基片緊緊吸附于旋轉(zhuǎn)臺(tái)，防止飛片。
三. 技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào)SYSC-100A
可鍍膜基片尺寸Ø10～100mm
旋轉(zhuǎn)速度10～8000rpm
轉(zhuǎn)速分辨率1rpm
速度精度＜0.02%
旋涂加速度*0～40000rpm/s
每段加速時(shí)間999.9s
每段旋涂時(shí)間9999.9s
時(shí)間分辨率0.1s
預(yù)吸片時(shí)間99s
解吸片時(shí)間99s
**大旋涂加速度為有負(fù)載條件下(使用≤Ø50mm基片)的真實(shí)加速度.
